FPD用フォトマスクの線幅、開口径、Total pitchや座標位置などの寸法を自動測定

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特長

・高位置決め精度、高平坦度を誇るエアスライダと測定テーブル
・ナノメーターでテーブル位置を制御するレーザ干渉計とリニアエンコーダー
・環境変化を最小化するサーマルチャンバー、など
・これら最先端のオプトメカトロニクスを駆使し、世界最高水準の測定精度を実現。
・また、独自の測定ソフトと基準マスクで精度校正、誤差要因を完全に補正し、理想的な格子座標系を構築、優れた測定精度と再現性を保証

対応サイズ

≤ G10 (カスタマイズ可)

製品メーカー

V-TECHNOLOGY社