半導体用フォトマスク上にあるパターンの位置を高精度に測定する精密座標測定機。

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特長

・高剛性な顕微鏡システムを搭載し、ドリフトフリーと高い測定再現性を実現
・ロボットでのマスクハンドリングより、チャンバー内の環境変動を最小限に抑制
・マスクフレーム（マスクホルダー）の変更により5インチから9インチまで測定可能

製品メーカー

V-TECHNOLOGY社