AM-OLED用高精度大型フォトマスク・ハーフトーンマスク対応の最新モデル

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特長

・部分真空システムによる装置設置面積の縮小化を実現
・部分真空システムによるローディング時間の短縮を実現
・FIBによる高精度膜厚制御
・OPCなど、微小かつ複雑パターンの完全パターンコピーに対応

対応サイズ

≤ G10 (カスタマイズ可)

製品メーカー

V-TECHNOLOGY社