AM-OLED用高精度大型フォトマスク・ハーフトーンマスク対応の最新モデル

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特長

・高速、高分解能、Die to Database、Die to Die検査
・繰り返しパターンを必要としないコンタクトホール専用アルゴリズム
・強化された単純差分比較アルゴリズム
・検出欠陥の透過/反射イメージキャプチャーによる検査中レビュー機能
・透過検査、反射検査の同時検査機能

製品メーカー

V-TECHNOLOGY社