FPDフォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Sculptor
- 特長
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・高精度で白黒欠陥やハーフトーン欠陥等の多彩な修正が可能
・独自開発の光学系を使用。アパーチャビームによる高速大面積の欠陥修正とスポットビームによる微小欠陥の高精度修正を実現
・スキャンニングビームによるフレキシブルなパタンコピー機能搭載
・スルーペリクル対応（ZAPのみ）
・高安定・長寿命なFemto秒レーザ、LD励起固体レーザを使用し安定した欠陥修正
- 最大対応サイズ
- G10 (カスタマイズ可)
- 製品メーカー
- V-TECHNOLOGY社